?背景技術：

光學掩模板在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結構，掩膜版應用十分廣泛，在涉及光刻工藝的領域都需要使用掩膜版，如ic（integratedcircuit，集成電路）、fpd（flatpaneldisplay，平板顯示器）、pcb（printedcircuitboards，印刷電路板）、mems

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